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我国成功开发出高精度石英谐振MEMS加速度计

2024-06-14 15:16:02
来源:科技日报 作者:马爱平 评论:0

  日前,中国微米纳米技术学会组织召开“高精度石英谐振MEMS加速度计”项目(以下简称项目)科技成果评价会。该项目由中国工程院院士蒋庄德、西安交通大学教授赵玉龙团队完成。

  专家组一致同意项目通过科技成果评价,并认为该项目为下一代惯性级加速度计的发展与应用奠定了基础。

  此次会议专家组由中国工程院院士邹汝平,中国航天第九研究院第十六研究所研究员、副所长王建青,西北工业大学教授苑伟政,中国船舶集团有限公司第七〇五研究所研究员、总工程师史小锋,中航工业西安飞行自动控制研究所研究员、副总工程师杨卫民组成。

  据悉,项目突破了一体式、双对置、差动式石英谐振MEMS加速度计敏感结构等关键技术,成功开发出高精度石英谐振MEMS加速度计,为下一代惯性级加速度计的发展与应用奠定了基础。项目成果已为惯性导航系统、惯性测量单元、微型定位导航授时系统的开发提供了有力支撑,满足了航空、航天、兵器等领域装备对高精度、小型化、低成本加速度计的迫切需求,具有显著的社会和经济效益。项目团队成员包括西安交通大学教授刘红忠、副教授李村、助理研究员李波和白冰等。

  (中国微米纳米技术学会供图)

(责任编辑:韩梦晨)

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