本报讯 (记者 罗晓燕)1月12日，陕西光电子先导院先进光子器件创新平台核心设备搬入仪式举行。先进光子器件工程创新平台占地30亩，建设中试车间、中试大楼、综合楼和动力站等研发中试配套设施，总建筑面积约3万平方米，洁净厂房3000平方米，一期专业设备86余台(套)，具备以GaAs、GaN为主线，围绕6英寸化合物芯片工艺服务能力的柔性中试平台，可为光子产业孵化项目提供产品研发、中试、检测等全流程技术服务。
(技术人员介绍平台概况)
平台将技术服务模式(20%)+工程代工模式(80%)的结合，为光子产业各类创新主体，打通从产品研发到市场化批量供货的完整链条，解决当前行业中小型创新企业流片困难的问题。通过与创新企业持续进行联合研发，光子芯片制程中的光刻、刻蚀、蒸镀等多项核心工艺技术不断攻克，平台软硬件建设不断完善，未来平台将持续助力光子产业链上下游企业聚集。
(湿法设备)
同时，先进光子器件工程创新平台将有效解决第三代化合物半导体芯片卡脖子环节中的外延生长与制程问题，为客户提供芯片制造环节中的全流程服务(如外延生长、光刻、刻蚀、薄膜制备、清洗、减薄、抛光、划片等)。其客户主要集中在光电芯片、功率器件、射频器件等芯片设计企业、高校、科研院所等。
作为“追光计划”与“秦创原”成果转化及展示平台，光电子先导院积极发挥陕西光子产业链“链主”企业作用，将通过稀缺平台资源+专业技术服务持续吸引光子产业上下游企业聚集。促进两链融合、强链、补链，助推陕西省千亿级光子产业集群形成，打造具有全球影响力的光子产业生态高地，为解决实验室无法工程化创新成果，而成熟芯片代工厂又难以承接小量创新产品产出的两难局面，做到了有效的工程化衔接。
平台建成后将吸引更多光子产业创新要素汇聚陕西，为国家攻关一批解决“卡脖子”并引领未来的关键核心技术，培育一批具有先发优势和全球竞争力的光子产业冠军企业，推动光子产业集群化、规模化、高产值化发展。
(先进光子器件工程创新平台全景沙盘)
(责任编辑：韩梦晨)
