透射电镜技术跨越多个学科、工程技术复杂、攻关难度大。经过3年多的努力，中国科学家们完成了我国首台100%自主知识产权的120千伏场发射透射电镜的整机研制，实现了0.2纳米分辨率的成像能力，达到了产品化的水平。
“这对于我国实现高水平科技自立自强具有重大意义。”中国科学院院士、生物岛实验室主任徐涛介绍，这将打破内地透射电镜100%依赖进口的局面，场发射透射电子显微镜将为我国在材料科学、生命科学、半导体工业等前沿科学及工业领域的高质量发展提供有力支撑。
以“太行”之名
挺起透射电镜产业的中华脊梁
如果说光学显微镜揭开了细胞的秘密，那么透射电子显微镜则把纳米级的微观世界展示在人类眼前。1933年，世界上第一台透射电镜诞生，为科学研究提供更强有力的武器，也因此被誉为高端科学仪器皇冠上的“明珠”。
透射电镜具有极高的行业垄断性与技术门槛。行业数据显示，此前，我国透射电镜100%需要进口，尚无国产化。2022年，我国进口透射电镜约300台，进口总额超30亿元，预计2022年至2028年期间，年复合增长率超5.8%。
生物岛实验室生物电子显微镜技术研发创新中心研究员孙飞早在2016年便带领团队联合中国科学院生物物理研究所启动了预研工作。
“我们通过广泛交流，集合了有志于从事国产电镜自主研制的科学家和工程师，涵盖了电子光学、机械、自动化控制、软件等相关领域。”孙飞介绍，其中既有来自国内外学界的科研人才，也有在产业界深耕扫描电子显微镜多年的领军人物，“大家都抱有同样的希望，就是造出我们自己的透射电镜”。
2020年，这支成员来自全国各地乃至海外的队伍集结在位于广州黄埔的生物岛实验室组展开技术攻关。
团队成立3年多以来，在国家自然科学基金委、科技部、广东省科技厅、广州市科技局的大力支持下，相关研发工作接连取得重大突破——先后成功研制120千伏场发射电子枪、120千伏低纹波高压电源、400万像素和1600万像素棱镜耦合CMOS(互补金属氧化物半导体)电子探测相机、100万杂合像素直接电子探测相机等透射电镜核心关键部件。
据悉，电子枪是透射电镜的“光源”，其作用是发射高能电子束照射到样品上，是透射电镜最核心的部件之一。
“将原有的30千伏场发射电子枪提升为120千伏，要解决电子源发射稳定性、高压真空打火等问题。经过不断摸索，我们取得突破进展，2023年成功实现120千伏场发射电子枪的稳定量产。”孙飞说。如今，生物岛实验室是内地唯一有能力量产该透射电镜核心部件的单位。
孙飞直言，更大的困难在于如何将各个研制成功的部件组合起来实现联调，真正拿到高分辨率图像。“拿到分辨率优于0.2纳米图像的那天，我们非常激动，我国终于实现了这一关键技术的突破。”
为了进一步推动透射电镜的产业化，生物岛实验室与内地领先的科学仪器公司国仪量子联合成立了广州慧炬科技有限公司，致力于将透射电镜技术进行商业化应用。
“我们成功走到今天，得益于生物岛实验室作为新型研发机构的特殊体制机制，保证了研发队伍的稳定。而体制内外也并行发力，与产业界紧密合作。同时，国家部委项目的支持，保证了项目研制的可持续性。”孙飞说。
此次广州慧炬科技有限公司推出的首款透射电镜新品TH-F120，取名源自中华名山“太行”，寓意TH-F120将如太行山一样挺起内地透射电镜产业的脊梁。
向“珠穆朗玛”进发
将推出更高千伏电镜透视更厚材料
广州慧炬科技有限公司总经理曹峰正在推进“太行”的商业化应用。他介绍，场发射透射电镜在高端科研、产业发展应用广泛、意义重大。在生命科学研究领域，它可以看到蛋白质的生物结构;用在新材料领域，可开展锂电池的研发等。
曹峰表示，“太行”是拥有原子级分辨率的显微放大设备，信息分辨率达0.2纳米，可以呈现大多数晶体的排列结构。从现场的演示可以看到，“太行”能清晰呈现小鼠大脑中的髓鞘组织、小鼠肝脏细胞里的线粒体。“它是多个技术的复合体。我们必须在每个环节都做到极致，才能保证设备整体达到超高分辨率。”曹峰说。
尽管“太行”是该公司推出的“入门级”产品，但现已具备多项先进性能。一是自主研制的高亮度场发射电子枪，相比于同级进口产品的热发射电子枪，亮度更高，发射稳定性和相干性更优，匹配自主研制的电磁透镜系统，针对120千伏成像平台特别优化电子光学设计，可为用户带来更佳的图像衬度和分辨率。二是自主研制的高稳定性低纹波高压电源，实现了高压自动控制，保证电子枪稳定发射。三是标配自主研制的高像素CMOS相机，在低电子剂量的工况下仍可呈现丰富的样品细节。四是以人机分离为设计理念，匹配高度自动化的控制系统，使图像采集工作更加舒适高效。五是预设充足的拓展接口和整机升级空间，满足用户需求迭代，有效延长整机使用年限。
曹峰透露，团队计划2025年研制出200千伏场发射透射电镜。“电压虽然看起来只是增加了80千伏，但研制难度却是指数级增加，设备的稳定性、防护性都需要进一步探索。”
曹峰表示，电压越高意味着电子能量越高，就越能穿透更厚的样品。目前120千伏的电镜，可以穿透大约50纳米厚度的材料。但是对于常见的100纳米的材料，还需要200千伏甚至300千伏的电镜。
在未来数年，该公司计划推出场发射透射电镜系列EM -F200“峨眉”、KL -F300“昆仑”，冷冻透射电镜系列YL -F100C“玉龙”、TGL -F200C“唐古拉”、 ZMLM -F300C“珠穆朗玛”，热发射透射电镜系列QL -T120“秦岭”、DX -LaB120“丹霞”。
“我们的透射电镜产品取名均源自中华名山，代表企业立足中国、放眼世界的理念，助力科研工作者勇攀高峰、不断突破。”曹峰说。
此次“太行”的发布是生物岛实验室“二次创业”向成果转化专业机构成功转型的缩影。
生物岛实验室是广州市首批省实验室之一。广州市专门成立领导小组，指导确定实验室的发展方向以及服务保障措施，提供了超过2.2万平方米的科研办公场地，专门出台一系列创新服务保障政策，支持生物岛实验室建设发展。
自成立至今，生物岛实验室累计引进和培养科研人员1500余人，获批国家、省、市级纵向项目64项，获批科研经费2.74亿元;2020年论文影响力(CNCI)和ESI高被引论文在首批广东省实验室中排名第一。
在支撑地方经济发展方面，生物岛实验室优化整合力量，加快成果转化、产业孵化和创新体系建设，建成高标准产业共性技术服务平台集群，不断培养高价值专利，与本地头部企业共建联合实验室、技术产业转化中心，累计孵化企业12家，其中4家估值已经超亿元。
通过技术作价、配比投入等方式撬动社会资本近1.5亿元，助力科研成果高效率转化，赋能产业科技创新，为广州高质量发展作出突出贡献。
（图片来源：广州高新区）
(责任编辑：陈楠)
